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MgO Film Thickness Measurement System (MgO 膜厚检测设备)

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DATE 19-08-01 14:24

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分光反射用作PDP池保护层MgO薄膜监测设计Ellipso Technology具有先进独特的m-FFT厚技基板分析技,能准确、快速地量厚介形基板表面的MgO膜厚。该仪器最适合于介/案的大尺寸品的薄膜厚度监测


◈ 性能(DESCRIPTION)

使用光反射(SR)的系在展示程中提供各薄膜厚度高精度的量。 艾利普送科技特的和技的、准确性高的M – FFT膜厚快速量分析件。


◈ 参数(SPECIFICAION)

1. : 250nm~950nm(紫外线)
2.
厚度范 : 0.4um~50um
3.
厚度精度 : ~1nm
4.
: ±0.25%
5.
量速度 : 0.5~2 秒的
6.
光斑尺寸 : 1mm~10mm
7.
足迹 : 3000 X 4000 (玻璃的大小而定)
8.
段速 : 200mm/sec
9.
: 2000 X 3000mm (可定制)


◈ (APPLICATION)

PDP面板玻璃案或无薄膜


 

◈ 选择(OPTION)

紫外线,定制等测绘阶