Elli-RI (Textured Solarcell) > Spectroscopic Reflectometer & Transmittance

太阳能细胞样本纹理测量系统

积分球分光反射计(Elli-RI)提供高精准膜厚测量。它非常适用于表征各种材料，尤其是在绒面多晶或单晶硅太阳能电池上的SiN增透膜。

◈ 特征(FEATURE)
 易操作及快速检测
 非接触式及非破坏性
 高重复性
 扩库
 多层测量

 User Friendly S/W System

◈ 性能(PERFORMANCE)

1.波长范围：450 ~ 900 nm

2.光斑尺寸：4mm

3.测量速度：1.0秒/点（取决于膜层类型）

4.测量常数：反射率，膜厚，n，k vs λ

5.层数：多至3层（取决于膜层）

6.重复性(3σ)：10次测量在 ± 0.3 nm。（取决于膜层）

7.厚度范围：20 nm ~ 50 μm（取决于膜层）

◈  反射仪系统(REFLECTOMETER SYSTEM)

1.光源：150w卤素灯

2.光学系统：准直光系统，光纤引导光学器件

3.光斑大小：4.0mm

4.光谱范围：450 ~ 900 nm

5.分光谱仪：CCD type

6.积分球

◈ 应用(APPLICATION)

1.Solar Cell（太阳能电池）

      - 绒面单晶或多晶衬底

      - 绒面硅太阳能电池上的增透膜(SiNx, AlNx...)

      - 透明导电氧化物 (ITO, ZnOx, doped SnO2, AZO)

      - a-Si, μc-Si, poly-Si

   - 有机PV材料

      - 染色敏化膜

2.Semiconductor （半导体）

      - Si, Ge, SiO2, ONO, ZnO, PR, poly-Si, GaN, GaAs

3.Display （显示）

      - (incl. OLED) MgO, ITO, PR, Alq3, CuPc, PVK, PAF, PEDT-PSS

4.Dielectrics （电介质）

      - SiO2, TiO3, Ta2O5, ITO, AIN, ZrO2, Si3N4, Ga2O3, Wet Oxides

5.Polymer （聚合物）

      - Dye, NPB, MNA, PVA, PET, TAC, PR

6.Chemistry（化学物）

      - Organic Film (OLED) & LB Thin Film