Elli-RPX(Reflectometer, 反射仪) > Spectroscopic Reflectometer & Transmittance

光谱反射仪(SR)系统提供了一个稳定、快速、准确的薄膜厚度值，用于各种薄膜工艺。Ellipso技术具有先进独特的m-FFT技术，用于薄膜的准确、快速测量/分析。

◈ 规格(SPECIFICATION) 

1.测量常数：膜厚，对波长λ的反射率，折射率，消光系数。

2.波长范围：190 ~ 1050 nm(紫外线选项) 或者 380 ~ 1050 nm

3.光斑大小：1.0 mm

4.膜厚范围：1 nm ~ 20 μm（取决于膜层）
5.膜层数：多至5层（取决于膜层）
6.测量速度：1 s/点（取决于膜层）

7.重复性：10次测量在±0.5 Å以内
8.测量距离：120 mm（客户定制）
9.样品尺寸：~ 150mm或客户定制

◈ 应用(APPLICATION)

1.介质层，半导体，聚合物的厚度测量

2.支持正面/反面反射

3.超薄膜及超厚膜

4.多种衬底（Silicon, GaAs, , Al, Steel, Glass, Al2O3, PC, PET, Polymer以及其他膜层）

​◈ 选项(OPTION)

1.自动映射平台（150 mm, 200 mm, 300 mm,客户定制尺寸）
2.光谱范围选项（紫外: 190 nm ~ 1,050 nm），（红外