IN-LINE SR SYSTEM (在线SR系统) > Etc

等离子MgO厚度测量

该分光反射计是对用作PDP电池保护层的MgO薄膜在线检测的优化设计。Ellipso Technology具有先进独特的m-FFT软件测厚技术，结合伪基板分析技术，能够准确、快速地测量厚介质和图形基板表面的MgO膜厚。该仪器配备多探针，最适合于介质和/或图案的大尺寸样品的薄膜厚度监测。

◈ 性能(DESCRIPTION)

使用光谱反射（SR）的系统在展示过程中提供各种薄膜厚度高精度的测量。 艾利普送科技拥有独特的和技术先进的、准确性高的M – FFT膜厚快速测量分析软件。

◈ 参数(SPECIFICAION)

1.Wavelength range : 250 ~ 950 nm(with UV)

1.波长范围：250 ~ 950 nm (with UV)

2.Thickness range : 0.4 ~ 50 um

2.厚度范围：0.4 ~ 50 um

3.Thickness precision: ~ 1 nm

3.厚度精确到：~ 1 nm

4.Reproducibility: ±0.25 %

4.重复性：±0.25 %

5.Measurement Speed: 1 ~ 2 sec. per points

5.测量速度：每点1-2sec

6.Spot size: 1 ~ 10 mm

6.光斑尺寸：1 ~ 10 mm

7.No. of probes: 1 - 8 (Depends on glass size)

7.探头数：1-8（取决于玻璃的尺寸）

◈ 应用(APPLICATION)

带图案或无图案PDP面板玻璃上的MgO薄膜。

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◈ 选择(OPTION)

紫外线，自适应探头配置，互动和实时数据处理等