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2018 대한미국 산업기술 R&D 대전 전시회 참가

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작성자 최고관리자 댓글 0건 조회 153회 작성일 19-09-30 17:28

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참가 품목 : 100 스팟 광대역 분광 타원계(Ellipsometer)

                반도체 박막 공정의 결과를 검증할 수 있는 마이크로 스팟을 갖는 광대역 분광타원계

제품 설명 : 반도체 박막 공정을 계측하는 광계측기는 대당 50억원을 넘지만 전량 수입에 의존하고 있음.

                광계측기의 국산화를 위하여 개발.

                국내최초 반도체 공정 계측용 분광 타원계 기술을 개발.


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